产品简介:
HTXY-DF系列是由深圳市航天新源科技有限公司自主研制的压控蝶阀控制器,该系列产品可用于半导体,光伏生产、材料表面高品质镀膜制造等行业,尤其在PECVD(等离子体增强化学气相沉积)和LPCVD(低压化学气相沉积)工艺领域有着广泛应用
产品优势及特点:
1)高精度
2)高动态稳定速度和稳定度
3)高可靠性
目前,HTXY-DF系列压控蝶阀控制器产品在关键技术指标方面达到了进口产品水平,实现功能、性能的全面覆盖,具备完全替代进口产品的能力。
产品介绍:温度控制器的温控算法在设计过程中采用仿真和实际测试相结合的方式,利用仿真确定被控对象模型,结合实际测试对象模型进行完善,提出的控制算法充分参考了实际控制效果。
产品优势及特点:
通信模组:核心单元。实现与上位机通信。
基板模组:可自由匹配功能模组插入。
功能模组:五类功能模组,分别完成模拟量输入、输出数字量等功能,
控制算法:采用仿真和实际测试相结合的方法,专用控温算法无需二次开发,具有可持续参数自整定功能。
本产品的温控算法在设计过程中采用仿真和实际测试相结合的方式,利用仿真确定被控对象模型,结合实际测试对象模型进行完善,提出的控制算法充分参考了实际控制效果。
产品简介:HTXY-ZP系列是由深圳市航天新源科技有限公司自主研制的双极性中频电源,该系列产品可用于半导体、光伏生产、材料表面高品质镀膜制造等行业,尤其在PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺领域有着广泛应用。
产品优势及特点:
1)高精度:使用了最先进的数控技术,显著提高了电源输出精度,从而确保了电源输出的一致性和准确性
2)高稳定度:采用一系列高稳定度控制技术并增加多层滤波和精密调节方案,使得电源输出稳定性能够在更严峻的环境下得到保证。
3)高可靠性:采用了多种安全措施,包括可靠的过流、过压和过温等软硬件保护,从而保障了电源运行的安全性和可靠性。
目前,HTXY-ZP系列中频电源产品在关键技术指标方面达到了进口产品水平,实现功能、性能的全面覆盖,具备完全替代进口产品的能力。